| 发明名称 |
DEFECT INSPECTION METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01158308(A) |
申请公布日期 |
1989.06.21 |
| 申请号 |
JP19880139577 |
申请日期 |
1988.06.08 |
| 申请人 |
INSHISUTEMUZU INC |
发明人 |
ROORENSU EICHI RIN;DANIERU ERU KABUAN;ROBAATO BII HAU |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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