| 发明名称 |
PLASMA X-RAY GENERATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01157041(A) |
申请公布日期 |
1989.06.20 |
| 申请号 |
JP19870314018 |
申请日期 |
1987.12.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKAMOTO YUKIO;MURAYAMA SEIICHI;KATO YASUO;OCHIAI ISAO;SATO TOSHIHIKO |
| 分类号 |
H01J35/22;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J35/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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