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经营范围
发明名称
INSPECTING METHOD FOR EXTERNAL APPEARANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01156640(A)
申请公布日期
1989.06.20
申请号
JP19870317913
申请日期
1987.12.15
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ITO YASUHITO
分类号
G01N21/84;G01N21/88;H01L21/66
主分类号
G01N21/84
代理机构
代理人
主权项
地址
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