发明名称 INSPECTING METHOD FOR EXTERNAL APPEARANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01156640(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19870317913 申请日期 1987.12.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO YASUHITO
分类号 G01N21/84;G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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