发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01308042(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880139847 申请日期 1988.06.06
申请人 NEC CORP 发明人 TAKANO HIDEAKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址