| 发明名称 |
THIN FILM MONITOR USING LASER AND FILM THICKNESS MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01320408(A) |
申请公布日期 |
1989.12.26 |
| 申请号 |
JP19880155191 |
申请日期 |
1988.06.23 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
OTANI NOBORU;KAWAMURA KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01B11/06;H01L21/203;H01S3/00;H01S3/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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