发明名称 SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01151146(A) 申请公布日期 1989.06.13
申请号 JP19870308755 申请日期 1987.12.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAMURA YOSHIHIRO
分类号 H01J37/22;H01J37/20 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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