| 发明名称 |
ACOUSTIC MICROSCOPE SURFACE INSPECTION INSTRUMENT AND METHOD FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0333653(A) |
申请公布日期 |
1991.02.13 |
| 申请号 |
JP19900059779 |
申请日期 |
1990.03.09 |
| 申请人 |
UNIV LELAND STANFORD JR |
发明人 |
BATORASU TOOMASU KUURII-YAKUBU;FUIRITSUPU PARAN;POORU EI RAINHORUTSUEN |
| 分类号 |
G01N29/44;G01N29/06;G01S15/89 |
主分类号 |
G01N29/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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