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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01144654(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870303607 申请日期 1987.12.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKUDA TAKESHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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