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发明名称 SUBSTRATE HOLDING HEAD
摘要
申请公布号 JPH01144221(A) 申请公布日期 1989.06.06
申请号 JP19870302919 申请日期 1987.11.30
申请人 NEC HOME ELECTRON LTD 发明人 WADA TOSHIO
分类号 G02B7/00;G11B7/08;G11B7/13 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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