发明名称 PROCEDE DE MESURE DE DIAMETRES DE FILS OU DE PROFILS OU PIECES CIRCULAIRES PAR DIFFRACTION DE RAYONS LUMINEUX ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
摘要 <P>Ce procédé consiste, à partir d'une source lumineuse monochromatique, à créer un champ de faisceau de rayons lumineux, non cohérent, présentant une répartition spatiale homogène de l'énergie lumineuse, à placer l'élément à mesurer dans ledit champ en le maintenant dans une position fixe tout en ne lui permettant des déviations de position que parallèlement à lui-même, à focaliser lesdits rayons sur un capteur placé perpendiculairement à l'axe desdits rayons lumineux, à masquer la zone centrale recevant le flux d'énergie maximum, à convertir les images des franges de diffraction, situées de part et d'autre de cette zone centrale, en signaux électriques après avoir étalonné ledit capteur et, à analyser ces signaux qui sont fonction de la répartition de l'énergie lumineuse. Le dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé comporte : une source lumineuse monochromatique S; un diaphragme à orifice de dimension microscopique M2 situé sur le chemin des rayons émis par cette source et dans l'axe optique; une optique de focale donnée L2; un capteur C; un masque M3; un système convertisseur analyseur-calculateur C1-C2.</P>
申请公布号 FR2623899(A1) 申请公布日期 1989.06.02
申请号 FR19870016611 申请日期 1987.11.26
申请人 FARDEAU JEAN FRANCOIS 发明人
分类号 G01B11/08;G01B11/14;G02B27/40 主分类号 G01B11/08
代理机构 代理人
主权项
地址