| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD AND DEVICE THEREOF, AND CARRIER AND TEST JIG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661363(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920264680 |
申请日期 |
1992.10.02 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU AUTOM LTD |
发明人 |
TAKENAKA MASAJI;TSUJI KAZUTO;KASAI JUNICHI;TANIGUCHI TETSUO;MASUKO TAKASHI;SAKUMA MASAO |
| 分类号 |
B29C45/26;H01L21/56;H01L21/66;H01L23/04;H01L23/28;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/04 |
主分类号 |
B29C45/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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