| 发明名称 |
MANUFACTURE OF CIRCULAR WAFER OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01139223(A) |
申请公布日期 |
1989.05.31 |
| 申请号 |
JP19870296173 |
申请日期 |
1987.11.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
MATSUTOMO TOSHIO |
| 分类号 |
B28D5/02;B28D1/22;B28D5/00;C30B11/14;C30B33/00;H01L21/208 |
主分类号 |
B28D5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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