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发明名称 VERFAHREN ZUR GRENZFLAECHENSTABILISIERUNG
摘要
申请公布号 DD268559(A1) 申请公布日期 1989.05.31
申请号 DD19880312242 申请日期 1988.01.15
申请人 VEB HALBLEITERWERK,DD 发明人 KRUEGER,DIETMAR,DD;FLUEGGE,MARTIN,DD;RIEPEL,GEORG,DD
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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