发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01137651(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 JP19870295224 申请日期 1987.11.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIGAKI YUKIO;MORIBE SHUNJI
分类号 H01L23/522;H01L21/312;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
地址