发明名称 Integrated circuit isolation process
摘要
申请公布号 EP0252450(B1) 申请公布日期 1996.10.09
申请号 EP19870109601 申请日期 1987.07.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 CHAPMAN, RICHARD A.;TENG, CLARENCE WAN-HSN
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/32 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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