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发明名称 Apparatus for contamination control in processing apparatus containing voltage driven electrode
摘要
申请公布号 EP0453780(B1) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 EP19910104597 申请日期 1991.03.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CUOMO, JEROME J.;GARZIOSO, MICHAEL V.;GUARNIERI, CHARLES R.;HALLER, KURT L.
分类号 H01L21/302;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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