发明名称 PREPARATION OF SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH01132115(A) 申请公布日期 1989.05.24
申请号 JP19870290918 申请日期 1987.11.18
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 FUKASE KENJI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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