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发明名称
CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01129974(A)
申请公布日期
1989.05.23
申请号
JP19870287795
申请日期
1987.11.13
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SUGITA MASAO
分类号
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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