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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED THEREBY
摘要
申请公布号 JPH11103049(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970264297 申请日期 1997.09.29
申请人 NEC CORP 发明人 HIROI MASAYUKI
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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