发明名称 SYNTHESIZING OF DIAMOND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01130520(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19870290409 申请日期 1987.11.17
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 ITO TOSHIMICHI;MASUDA ATSUHIKO;ETO YUJI
分类号 H01L21/314;H01L21/205 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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