| 发明名称 |
ETCHING PROCESS USING METAL COMPOUNDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2600588(A) |
申请公布日期 |
1989.05.23 |
| 申请号 |
AU19880026005 |
申请日期 |
1988.10.24 |
| 申请人 |
UNISEARCH LIMITED |
发明人 |
CHRISTOPHER MAX HORWITZ;MARK GROSS |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/44;C23F1/08;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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