发明名称 |
COPPER ALLOY FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS AND PRODUCTION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01127637(A) |
申请公布日期 |
1989.05.19 |
申请号 |
JP19870283649 |
申请日期 |
1987.11.10 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAJIMA KOJI;KUBOZONO KENJI;HASHIZUME KIMIO;IWASE SHINICHI |
分类号 |
H01L23/48;C22C9/05;C22F1/00;C22F1/08;H01B1/02 |
主分类号 |
H01L23/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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