发明名称 COPPER ALLOY FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01127637(A) 申请公布日期 1989.05.19
申请号 JP19870283649 申请日期 1987.11.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA KOJI;KUBOZONO KENJI;HASHIZUME KIMIO;IWASE SHINICHI
分类号 H01L23/48;C22C9/05;C22F1/00;C22F1/08;H01B1/02 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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