| 发明名称 |
Miniature etching system with regeneration unit and rinsing unit for etching copper surfaces and electrolytic copper recovery |
| 摘要 |
Published without abstract.
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| 申请公布号 |
DE3738023(A1) |
申请公布日期 |
1989.05.18 |
| 申请号 |
DE19873738023 |
申请日期 |
1987.11.09 |
| 申请人 |
ELO-CHEM RECYCLING-ANLAGENBAU GMBH |
发明人 |
HOLZER,WALTER,DR.H.C.;GROSCHE,KLAUS |
| 分类号 |
C23F1/08;C23F1/46;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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