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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING WIRING
摘要
申请公布号 JPH01124237(A) 申请公布日期 1989.05.17
申请号 JP19870283412 申请日期 1987.11.09
申请人 NEC CORP 发明人 MORISHIGE YUKIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/268;H01L21/285 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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