VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT EINES ISOLIERENDEN MATERIALS AUF EINEM SUBSTRAT DURCH BESCHICHTUNG UNTER NIEDRIGEN DRUECKEN UND DURCH DIESES VERFAHREN HERGESTELLTES PRODUKT.
摘要
申请公布号
AT42348(T)
申请公布日期
1989.05.15
申请号
AT19850904980T
申请日期
1985.10.09
申请人
ETABLISSEMENT PUBLIC DIT: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
