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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG NEGATIVER BILDER AUS EINEM POSITIV ARBEITENDEN PHOTORESIST.
摘要
申请公布号 AT42419(T) 申请公布日期 1989.05.15
申请号 AT19860110953T 申请日期 1986.08.08
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 SPAK, MARK A.;DURHAM, DANA;MAMMATO, DONALD;JAIN, SANGYA
分类号 G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/08 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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