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发明名称
DEVICE FOR CLEANING WAFER WITH AIR
摘要
申请公布号
JPH01120827(A)
申请公布日期
1989.05.12
申请号
JP19870278528
申请日期
1987.11.04
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIGUCHI HIROBUMI
分类号
H01L21/304;B08B3/10
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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