发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01120061(A) 申请公布日期 1989.05.12
申请号 JP19870277751 申请日期 1987.11.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAMURA KENICHI
分类号 H01L29/201;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/68;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
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