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发明名称 CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01119593(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870277894 申请日期 1987.11.02
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 ONO NAOKI;KIDA MICHIO;ARAI YOSHIAKI;SAHIRA TATEAKI
分类号 C30B15/02;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
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