发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01119019(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870274723 申请日期 1987.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 MUKOHARA HIROAKI
分类号 H01L21/318;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/3213 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
地址