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发明名称
EDGE JUNCTION TYPE SINGLE CRYSTAL THIN FILM SUPERCONDUCTOR TUNNEL JUNCTION ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH01117376(A)
申请公布日期
1989.05.10
申请号
JP19870179622
申请日期
1987.07.17
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
INUISHI MASAHIDE
分类号
H01L39/24;H01L39/22
主分类号
H01L39/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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