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发明名称 FORMATION OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH01117342(A) 申请公布日期 1989.05.10
申请号 JP19870275040 申请日期 1987.10.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HOUGEN HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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