发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01117020(A) 申请公布日期 1989.05.09
申请号 JP19870275163 申请日期 1987.10.29
申请人 NEC CORP 发明人 MISAKI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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