| 发明名称 |
PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01115898(A) |
申请公布日期 |
1989.05.09 |
| 申请号 |
JP19870273820 |
申请日期 |
1987.10.28 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
AIZAKI HISAAKI;MATSUI SHINJI |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/58;C30B13/06;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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