过氟化物处理装置

摘要

一种过氟化物分解装置，其特征为具备：设有触媒层而供给包含过氟化物的排气，并分解该过氟化物的过氟化物分解装置，及除去含在从该过氟化物分解装置所排出的该排气的酸性物质与Ca盐反应所生成的第一反应生成物的酸性物质除去装置。