发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01115116(A) 申请公布日期 1989.05.08
申请号 JP19870274152 申请日期 1987.10.28
申请人 SHARP CORP 发明人 MIZUKI TOSHIO
分类号 H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址