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发明名称 WIRE BONDING APPARATUS HAVING SENSOR FOR SENSING TEMPERATURE OF HEATER BLOCK
摘要
申请公布号 KR20060034413(A) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20040083427 申请日期 2004.10.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, MIN;KIM, GWANG EUN;SHIN, SU DONG;MIN, KYOUNG WOON;JUNG, KOO HWAN
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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