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发明名称 DIFFUSING METHOD FOR IMPURITY
摘要
申请公布号 JPH01111320(A) 申请公布日期 1989.04.28
申请号 JP19870269659 申请日期 1987.10.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MIZUNO BUNJI;NAKAYAMA ICHIRO;KUBOTA MASABUMI
分类号 H01L21/265;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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