发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR RADIATION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH01108781(A) 申请公布日期 1989.04.26
申请号 JP19870265345 申请日期 1987.10.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRANO RYUMA;HIRAO TAKASHI
分类号 H01L31/10;H01L21/28;H01L31/00;H01L31/09 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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