发明名称
摘要
申请公布号 JPH0165155(U) 申请公布日期 1989.04.26
申请号 JP19870160198U 申请日期 1987.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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