| 发明名称 |
CHARGED PARTICLES BEAM DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01107441(A) |
申请公布日期 |
1989.04.25 |
| 申请号 |
JP19870263774 |
申请日期 |
1987.10.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO NORIO;OKUMURA MASAHIDE;MATSUZAKA TAKASHI |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/22;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
