| 发明名称 |
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01107531(A) |
申请公布日期 |
1989.04.25 |
| 申请号 |
JP19870264456 |
申请日期 |
1987.10.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SAKASHITA TOSHIHIKO;KAWAKITA KENJI;NOMURA NOBORU |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/09;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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