发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01108193(A) 申请公布日期 1989.04.25
申请号 JP19870263560 申请日期 1987.10.19
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 TAKEDA SHIGERU;SATO MASAZUMI;ITO KOHEI
分类号 C30B13/24;H01L21/18 主分类号 C30B13/24
代理机构 代理人
主权项
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