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经营范围
发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01105539(A)
申请公布日期
1989.04.24
申请号
JP19870262370
申请日期
1987.10.16
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;RIKAGAKU KENKYUSHO
发明人
HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU;YOSHINAGA TAKASHI;ARAKI YOICHI
分类号
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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