发明名称 METHOD FOR REFINING COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01103984(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870261966 申请日期 1987.10.16
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SHIBATA MASATOMO
分类号 C30B27/00;C30B13/02;C30B29/40;H01L21/18 主分类号 C30B27/00
代理机构 代理人
主权项
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