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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01103828(A) 申请公布日期 1989.04.20
申请号 JP19870261403 申请日期 1987.10.16
申请人 FUJI ELECTRIC CORP RES & DEV LTD 发明人 YOSHIDA MAKOTO
分类号 H01L21/31;H01L21/205;H01L31/04 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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