发明名称 REDUCING STEPPER
摘要
申请公布号 JPH01101627(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870259364 申请日期 1987.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 FUJIWARA MAKOTO
分类号 G03F7/20;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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