PRESSURE TRANSDUCER WITH STRESS ISOLATION FOR HARD MOUNTING.

摘要

Un transducteur de pression possède une couche (18) d'isolation des contraintes qui permet au détecteur (25) d'être monté de manière non élastique (monté dur) sur une surface de montage (26) qui est à son tour soumise à des déformations. La déformation de la surface de montage (26) tend à induire des contraintes indésirées dans le diaphragme de détection (25) et la couche d'isolement des contraintes (18) réduit au minimum la quantité de contraintes qui est transférée au diaphragme de détection (25) de manière à réduire l'erreur. Le ressort (17) comprend de préférence un ressort du type à lame en silicium (17) avec ou sans fente d'isolement et est utilisé dans différentes combinaisons de diaphragmes qui sont sensibles à une pression. La déflection du diaphragme en réponse à la pression peut être mesurée d'une manière quelconque connue comme par exemple avec des résistances à jauge de contraintes (32) ou par détection capacitive.