发明名称 Manufacturing Method of Ultre Purity Nitrous Oxide for Semiconductor and Display Industry
摘要
申请公布号 KR100918567(B1) 申请公布日期 2009.09.21
申请号 KR20050130836 申请日期 2005.12.27
申请人 发明人
分类号 C01B21/22 主分类号 C01B21/22
代理机构 代理人
主权项
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