MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19870255241-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0196956(A)	申请公布日期	1989.04.14
申请号	JP19870255241	申请日期	1987.10.09
申请人	FUJITSU LTD	发明人	KATO TETSUO
分类号	H01L21/3213;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/12	主分类号	H01L21/3213
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